【用途】

粉体除去用、ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやアンモニアガス等の処理用

【特徴】

• 最新型水スクラバ「コトル」には自己洗浄機能が付いており、長時間メンテナンスフリーを可能にしました。
• マイクロメートル単位の水滴を高速で粉体に衝突させることにより、今までのいかなる粉体処理装置よりも高効率で、粉体処理を行う事ができます。
• 乾式除害筒との組み合わせや、直列・並列に接続する豊富なバリエーションがあります。