クリーン・テクノロジー株式会社

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Challenge

未来を創る、環境を守る、
クリーン・テクノロジーの挑戦。

クリーン・テクノロジー株式会社では、主に半導体産業（半導体及びLCD製造ライン）の環境保全に必要不可欠な要素である排ガス処理装置など、さまざまな製品の開発に取り組んでおります。

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Products 製品紹介

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湿式　アクアⅣ

湿式　アクアⅣ

驚きの省スペース。メンテナンス性に優れた個性派です。【用途】ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやア...

乾式　エクレウス

乾式　エクレウス

コストダウンと高い安全性を誇る、わが社の代表選手。【用途】あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出...

自動配管クリーニングシステム　ダクトロン、ダクトロンミニ、ダクトロンXⅡ

自動配管クリーニングシステム　ダクトロン、ダクトロンミニ、ダクトロンXⅡ

配管詰まりはこれで解決。短時間で自動クリーニング。【用途】半導体製造装置のOUT側排気ライン（配管）の清掃【特徴】...

乾式　レオ

乾式　レオ

コストダウンと高い安全性を誇る、わが社の代表選手。【用途】あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出...

ヒータ+湿式　シリウスカイザー

ヒータ+湿式　シリウスカイザー

安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処...

常圧プラズマ式　ラフォック

常圧プラズマ式　ラフォック

世界初、一人でも移動可能。EXCHANGE自由自在。【用途】エッチング装置から排出されるプロセスガスと...

ヒータ+湿式　凮電・凮電デュアル

ヒータ+湿式　凮電・凮電デュアル

処理流量の大幅アップによりマルチ対応が可能。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理用【特...

水中用掃除機　ミコトル

水中用掃除機　ミコトル

水中のお掃除はおまかせ。かんたん操作でスピーディ。【用途】弊社ヒータ式排ガス処理装置のSiO2、TEOSなどの生成物...

排気・排水ラインフィルタユニット　バリヤトロン

排気・排水ラインフィルタユニット　バリヤトロン

粉体トラップでトラブル回避。フィルタ交換でがっちり捕集。【用途】処理対象ガスに応じたフィルタを交換することにより下記...

ヒータ+触媒式　レグルス

ヒータ+触媒式　レグルス

熱交換効率９０％以上。VOC処理はおまかせ。【用途】乾燥工程、フォトリソ工程で使用されるＩＰＡ等のＶＯ...

湿式　アクアⅡ

湿式　アクアⅡ

驚きの省スペース。メンテナンス性に優れた個性派です。【用途】ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやア...

修理・オーバーホールサービス　CTリペア

修理・オーバーホールサービス　CTリペア

安価で短納期が魅力。オーバーホールも弊社にお任せ。【用途】既存真空ポンプに対するオーバーホール既存チラーのオーバー...

ヒータ+湿式　シリウスカイザーネオ

ヒータ+湿式　シリウスカイザーネオ

安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガスと...

[開発中]減圧用プラズマ式　GEAL

[開発中]減圧用プラズマ式　GEAL

世界初、減圧領域で使用が可能。新しい発想からのプラズマ除害装置。＊開発パートナー募集中＊【用途】排...

乾式　ジョイント

乾式　ジョイント

期間限定タンク貸出。安心・安全なタンク保証が充実。【用途】処理対象ガスに応じた薬剤を除害筒に充填することにより下記...

乾式　タウルス

乾式　タウルス

コストダウンと高い安全性を誇る、わが社の代表選手。【用途】あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出...

ヒータ+湿式　シリウスカイザーオズ

ヒータ+湿式　シリウスカイザーオズ

世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPF...

粉体処理ユニット　コトル

粉体処理ユニット　コトル

粉体除去が得意な自己洗浄機能付き。最新型ハイブリット水スクラバ登場。【用途】粉体除去用、ドライエッチ工程やCVD工程...

ヒータ+触媒式　ナイトクリーン

ヒータ+触媒式　ナイトクリーン

存在を忘れるくらい、安定稼働。大流量なのにメンテナンスフリー。【用途】 NH3を大量に使用するMOCVD...

乾式　テクノクリーン

乾式　テクノクリーン

圧倒的なコストパフォーマンス。タンク無償貸出で顧客貢献度UP 。【用途】処理対象ガスに応じた薬剤を除害筒に充填するこ...

乾式　ノルマ

乾式　ノルマ

コストダウンと高い安全性を誇る、わが社の代表選手。【用途】あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出...

常圧プラズマ式　デュアルサンダー

常圧プラズマ式　デュアルサンダー

世界最小サイズのデュアルタイププラズマ式除害装置。【用途】エッチング装置から排出されるプロセスガスと...

ヒータ+湿式　デュアルカイザー

ヒータ+湿式　デュアルカイザー

省スペースで安全性の高いヒータ式。デュアルタイプ新登場。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガ...

常圧プラズマ式　雷電・雷電デュアル

常圧プラズマ式　雷電・雷電デュアル

最新型の高エネルギーリアクタ搭載でPFCガスを除害。【用途】エッチング装置から排出されるプロセスガスと...

粉体バキュームユニット　セルペンス

粉体バキュームユニット　セルペンス

クリーンルームで大活躍。強力掃除機で目詰まり対策。【用途】半導体工場及びLCD工場の製造装置、排気ライン（配管）の清...

ヒータ+湿式　シリウスカイザーオズⅡ

ヒータ+湿式　シリウスカイザーオズⅡ

世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。【用途】 PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPF...

常圧プラズマ式　サンダー

常圧プラズマ式　サンダー

世界初のロングアークプラズマ。ユニット交換で簡単メンテ。【用途】エッチング装置から排出されるプロセスガ...

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