【用途】

半導体工場及びLCD工場の製造装置、排気ライン（配管）の清掃

【特徴】

• 長期間にわたって目詰まりを起こさないフィルタはカートリッジ式となっております。
• フィルタ交換はご連絡をいただければ引取交換にお伺いいたします。
• ヒ素、ヒ素化合物などを含む粉体もオプションでお取引きが可能です。
• 工場バキュームの前段に設置することで、工場ラインへの有害物質の拡散を防ぎます。
• 各種製造装置・排気ライン（配管）・局所排気等様々な用途に対応可能です。
• 『S-1』処理風量可変機能付きでお好みの風量に調節が可能です。
• 『SD-1』当社開発薬剤を用いる事でガス成分を粉体からのガス拡散させる事なく処理が可能です。