コストダウンと高い安全性を誇る、わが社の代表選手。

【用途】

あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出されるガスの処理用

【特徴】

• 省コスト、省スペース
  乾式装置エクレウスを更に小型化しました。排出ガスの少ない工程に最適な装置です。
• 除害筒タンクスワップ交換システム
  除害筒タンクは弊社所有品をスワップ交換するシステムにより、除害筒の再生待ち時間が発生しません。除害筒タンクが劣化しても当社負担で修理・交換いたします。
• 自社製造による薬剤のコストダウン
  まず使用する薬剤を社内開発・社内生産できる体制を構築し薬剤原価を従来比1/3～1/10としました。また使用するタンクの生産方式を改善し、産廃保管設備の再構築と作業設備の改善を図りました。その結果、産廃費の20％削減、詰換え作業時間の30％削減を実現。現在ご使用中の他社製品と比較しても、価格性能比で負けない製品となりました。

【処理対象ガス】

• SiF4、PH3、B2H6、TEOS、Si2H6等

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