プラズマ式排ガス処理装置
プラズマ式 ラフォック
世界初、一人でも移動可能。EXCHANGE自由自在。
【用途】
エッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用
【特徴】
| ラフォックの特長 | 優位点 | |
| メンテナンス性能 | 装置毎の交換が可能で、現場でのメンテ時間を最小限に抑制することが可能 | 装置毎の交換が可能 |
| プラズマリアクタ | ・独自技術の高密度プラズマを電極で発生させ小型でも従来品と同等な除害効率を達成
・高濃度のガスでも従来のプラズマ除害に比べ、プラズマ安定性は格段に向上 |
除害効率の向上 受入ガス濃度の向上 |
| 処理対象ガス流入時のみプラズマON可能 | 部品消耗度、エネルギーの低減 | |
| シャワー部の特長 | 自社独自の洗浄仕様を導入することで自社洗浄塔 従来比50％のサイズダウンに成功 |
洗浄塔サイズ50％の削減 |
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