プラズマ式　雷電<ライデン>・雷電デュアル

最新型の高エネルギーリアクタ搭載でPFCガスを除害。

【用途】

エッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用

【特徴】

  • 従来のサンダーシリーズより最大処理流量を大幅にアップ
  • 消費電力は従来装置よりも約20％以上削減を達成

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