ヒータ触媒式 レグルス

熱交換効率90%以上。VOC処理はおまかせ。

【用途】

乾燥工程、フォトリソ工程で使用されるIPA等のVOC処理用

【特徴】

  • 省電力
    独自に開発した熱交換器を内蔵しているため、これまでのヒータ触媒方式とは一線を画する90%という高い熱交換率を実現しています。これにより消費電力を従来の1/2以下に抑えることに成功しました。また水や燃料といった電気以外の用力は必要としません。
    ローカルスクラバタイプであるため小風量・高濃度状態での処理が可能になり、エネルギーロスが最小です。
  • 高分解率
    ヒータ触媒式の利点を活かし広範囲のガス種・濃度に対応可能な上、白金ハニカム触媒により、低温で99%以上の分解効率を達成しています。
  • 小型
    小型装置であるため設置場所を選びません。新工場立上げ時の新規設備導入はもちろんのこと、新ライン増設によるキャパシティの増加や、スペースが限られた既存工場への導入も容易です。

 

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