ヒータ触媒式 ナイトクリーン

存在を忘れるくらい、安定稼働。大流量なのにメンテナンスフリー。

【用途】

NH3を大量に使用するMOCVD用

【特徴】

  • 低いランニングコスト
    排ガス中のアンモニア及び水素を、触媒反応で酸化分解します。
    【反応原理】 2H2+O2→2H2O
    4NH3+3O2→2N2+6H2O
    触媒反応を用いる為、直接燃焼方式に比べて、ランニングコストが安価です。
  • 高い安全性と操作性
    水素などの可燃性ガスはLEL以下に希釈してから処理する為、安全です。
    タッチパネル式の監視システムを採用し、パネル上にモニターデータやサポートデータを表示します。
  • 高い環境性能
    本装置は低温(250~400℃)での触媒反応でガスを処理する為、NOxの発生が少ないです。
    排水処理も不要です。

詳しい仕様・お見積など、お気軽にお問合せ下さい

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