ヒータ+湿式 凮電<フウデン>・凮電デュアル

処理流量の大幅アップによりマルチ対応が可能。

【用途】

PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理用

【特徴】

  • 従来のカイザーシリーズより最大処理流量を大幅にアップ
  • 消費電力は従来装置よりも約30%以上削減を達成

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