【用途】

半導体製造装置のOUT側排気ライン（配管）の清掃

【特徴】

• 『ダクトロン』はワイヤーの先にブラシを取り付けており、このワイヤーが回転とともに伸縮することで広範囲の配管清掃を行います。
• 『ダクトロンミニ』・『ダクトロンXⅡ』は局所的な清掃を目的として、ピンポイントで清掃する機能に特化することにより小型で安価を実現しました。
• 『ダクトロン』・『ダクトロンミニ』・『ダクトロンXⅡ』は配管内に付着する生成物を物理的にかき落とす機器です。機器を取り付けた後は清掃のたびに配管を取り外す必要が無いので、生産の合間のわずかな時間（5分程度）でも清掃が可能です。（配管清掃の為のダウンタイムを必要としません。）
  また、粉体などにも直接触れることなく安全に処理でき、後段側の弊社排ガス処理装置との併用により、集塵作業も手間がかかりません。