ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 凮電<フウデン>・凮電デュアル
処理流量の大幅アップによりマルチ対応が可能。
【用途】
PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理用
【特徴】
- 従来のカイザーシリーズより最大処理流量を大幅にアップ
- 消費電力は従来装置よりも約30%以上削減を達成
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