除害装置技術
プラズマ式排ガス処理装置
難分解性のPFCガスの処理を実現しました。
用途OXIDE-ETCH等で使用されるプロセスガスとCF4、SF6等のPFCガスの処理
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プラズマ式排ガス処理装置常圧プラズマ式 雷電・雷電デュアル
最新型の高エネルギーリアクタ搭載でPFCガスを除害。 【用途】 エ...
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プラズマ式排ガス処理装置
減圧用プラズマ式 GEAL
世界初、減圧領域で使用が可能。新しい発想からのプラズマ除害装置。 ...
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プラズマ式排ガス処理装置
常圧プラズマ式 ラフォック
世界初、一人でも移動可能。EXCHANGE自由自在。 【用途】 エ...
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プラズマ式排ガス処理装置常圧プラズマ式 デュアルサンダー
世界最小サイズのデュアルタイプ プラズマ式除害装置。 【用途】 エ...
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プラズマ式排ガス処理装置
常圧プラズマ式 サンダー
世界初のロングアークプラズマ。ユニット交換で簡単メンテ。 【用途】...
乾式排ガス処理装置
弊社オリジナル薬剤でどのプロセスでも対応可能（PFCガス除く）
用途あらゆるCVD工程等から排出されるガスの処理
ヒータ+触媒式排ガス処理装置
ローカルスクラバ型ヒータ触媒式装置です。
用途IPA・アセトン・有機アミン系等のVOCガス全般の処理
ヒータ+湿式排ガス処理装置
CF4ガスを処理対象外にし、驚異的パフォーマンスを実現しました。
用途LP・PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 凮電・凮電デュアル
処理流量の大幅アップによりマルチ対応が可能。 【用途】 PE-CVD等で使用され...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 デュアルカイザー
省スペースで安全性の高いヒータ式。デュアルタイプ新登場 。 【用途...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 シリウスカイザーオズⅡ
世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。 【用途】 PE...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 シリウスカイザーオズ
世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。 【用途】 PE...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 シリウスカイザーネオ
安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。 【用途】 ...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
ヒータ+湿式 シリウスカイザー
安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。 【用途】 PE-CVD等...
湿式排ガス処理装置
省スペース・低価格・高メンテナンス性を実現しました。
用途ドライエッチ工程やCVD工程等で使用されるハロゲン系ガスやアンモニアガス等の処理
