除害装置技術
プラズマ式排ガス処理装置
難分解性のPFCガスの処理を実現しました。
用途OXIDE-ETCH等で使用されるプロセスガスとCF4、SF6等のPFCガスの処理
乾式排ガス処理装置
弊社オリジナル薬剤でどのプロセスでも対応可能（PFCガス除く）
用途あらゆるCVD工程等から排出されるガスの処理
ヒータ+触媒式排ガス処理装置
ローカルスクラバ型ヒータ触媒式装置です。
用途IPA・アセトン・有機アミン系等のVOCガス全般の処理
ヒータ+湿式排ガス処理装置
CF4ガスを処理対象外にし、驚異的パフォーマンスを実現しました。
用途LP・PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理
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ヒータ+湿式排ガス処理装置凮電・凮電デュアル
処理流量の大幅アップによりマルチ対応が可能。 【用途】 PE-CVD等で使用され...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
デュアルカイザー
省スペースで安全性の高いヒータ式。デュアルタイプ新登場 。 【用途...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
シリウスカイザーオズⅡ
世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。 【用途】 PE...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置シリウスカイザーオズ
世界初スパイラル機構による安全性の高いヒータ式。 【用途】 PE...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
シリウスカイザーネオ
安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。 【用途】 ...
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ヒータ+湿式排ガス処理装置
シリウスカイザー
安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。 【用途】 PE-CVD等...
湿式排ガス処理装置
省スペース・低価格・高メンテナンス性を実現しました。
用途ドライエッチ工程やCVD工程等で使用されるハロゲン系ガスやアンモニアガス等の処理
