【用途】

ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやアンモニアガス等の処理用、粉体除去用にも使用可能

【特徴】

• 今までの湿式排ガス装置の洗浄塔を根本から見直し、構造を極力シンプルにする事により軽量で容易に取外しが可能な上、1/2のイニシャルコストとA3用紙サイズに近い省スペースを実現しています。
• 乾式除害筒との組み合わせや直列・並列に接続する豊富なバリエーションがあります。
  

  【処理対象ガス】

アクアⅣ（MAX300L/min）  ：HBr・HF・NH3・HCl・BCl3・etc.