【用途】

処理対象ガスに応じた薬剤を除害筒に充填することにより下記の用途に対応します。

• ドライエッチング工程で使用されるフッ素・塩素・臭素系ガスの処理
• タングステンCVD工程で使用されるWF6ガス等の処理
• MO-CVD工程で使用されるAsH3ガス等の処理

【特徴】

• 除害筒タンク有償貸出システム
  年間基本料をお支払いいただくことにより、除害筒タンクが劣化しても、除害筒タンク保証をサポートしているので、弊社負担で修理・交換し、貸与期間内は薬剤費用のみで、安心・安全にお使いいただけます。又、除害筒タンクが弊社所有であるため、資産計上の必要もございません。ご不要になれば、いつでも回収させていただきます。
• 自社製造による薬剤のコストダウン
  まず使用する薬剤を社内開発・社内生産できる体制を構築し薬剤原価を従来比1/3～1/10としました。また使用するタンクの生産方式を改善し、産廃保管設備の再構築と作業設備の改善を図りました。その結果、産廃費の20％削減、詰換え作業時間の30％削減を実現。現在ご使用中の他社製品と比較しても、価格性能比で負けない製品となりました。
• 置き換え可能
  現在ご使用されている排ガス処理装置からの置き換えの際もタンク貸出可能です。特別な導入費用を必要とせず、現状のランニングコストを削減することができます。

【処理対象ガス】

• ドライエッチ用：F2、HF、HCl、Cl2、BCl3、HBr、SiF4、BF3等
• MO-CVD用 ：AsH3、PH3等
• タングステンCVD用：WF6、ClF3等