【用途】

乾燥工程、フォトリソ工程で使用されるＩＰＡ等のＶＯＣ処理用

【特徴】

• 省電力
  独自に開発した熱交換器を内蔵しているため、これまでのヒータ触媒方式とは一線を画する90%という高い熱交換率を実現しています。これにより消費電力を従来の1/2以下に抑えることに成功しました。また水や燃料といった電気以外の用力は必要としません。
  ローカルスクラバタイプであるため小風量・高濃度状態での処理が可能になり、エネルギーロスが最小です。
• 高分解率
  ヒータ触媒式の利点を活かし広範囲のガス種・濃度に対応可能な上、白金ハニカム触媒により、低温で99％以上の分解効率を達成しています。
• 小型
  小型装置であるため設置場所を選びません。新工場立上げ時の新規設備導入はもちろんのこと、新ライン増設によるキャパシティの増加や、スペースが限られた既存工場への導入も容易です。