【用途】

NH3を大量に使用するMOCVD用

【特徴】

• 低いランニングコスト
  排ガス中のアンモニア及び水素を、触媒反応で酸化分解します。
  【反応原理】　2H2＋O2→2H2O
  4NH3＋3O2→2N2＋6H2O
  触媒反応を用いる為、直接燃焼方式に比べて、ランニングコストが安価です。
• 高い安全性と操作性
  水素などの可燃性ガスはLEL以下に希釈してから処理する為、安全です。
  タッチパネル式の監視システムを採用し、パネル上にモニターデータやサポートデータを表示します。
• 高い環境性能
  本装置は低温（250～400℃）での触媒反応でガスを処理する為、NOxの発生が少ないです。
  排水処理も不要です。