安全性の高いヒータ式。過剰な機能を省いて低価格を実現。

【用途】

PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガスの処理用

	シリウスカイザーシリーズの特長	優　位　点
メンテナンス性能	専用治具により簡単に実施可能	ヒータ・洗浄塔は独立で脱着可能
メンテナンス周期	部品母材の検討を重ね、またコーティングの最適化をすることで耐腐食性を向上	腐食による部品の消耗を最大限に抑制
ヒータの特長	耐腐食性素材を使用した特殊充填物により気流を発生させ熱伝導効率向上	除害効率の向上と省エネ
	耐腐食性素材の特殊合金を採用	ヒータユニット寿命の延長
	CACシステム(Clean Technology Anti-Corrosion System)を採用	耐腐食性の向上
洗浄塔の特長	特殊シャワーノズルの採用と循環水の有効活用	節水