排気・排水ラインユニット [ バリヤトロン ]

粉体が拡散する前に捕集する排気トラップです。

用途処理対象ガスに応じたフィルタを交換することにより下記の用途に対応します。

• バグフィルタ / 粉体の除去
• 触媒・薬剤フィルタ / ベントラインガスの除去（液体材料の除去）

自動配管クリーニングシステム [ ダクトロン / ダクトロンミニ ]

生成物が詰まりやすい曲がり配管を定期的に自動で清掃します。

用途半導体製造装置のOUT側排気ライン（配管）の清掃

粉体ユニット [ コトル ]

大小さまざまな粉体を高い集塵効率で除去できるユニットです。

用途粉体除去用、ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやアンモニアガス等の処理用

粉体バキュームユニット [ セルペンス ]

長期間目詰まりを起こさない、画期的なクリーンルーム用掃除機です。

用途半導体工場およびLCD工場の製造装置、排気ライン（配管）の清掃

水中用掃除機 [ ミコトル ]

水中の固形物・汚泥だけを除去するスクラバ専用の掃除機です。

用途半導体製造装置のOUT弊社ヒータ式排ガス処理装置のSiO2、TEOSなどの生成物の清掃作業
半導体やLCD工場内の各種スクラバに溜まった固形物・汚泥の除去側排気ライン（配管）の清掃

修理・オーバーホールサービス [ CTリペア ]

自社定期便を使い、低コスト・短納期・多品種対応可能なサービスです。