乾式排ガス処理装置

1日24時間・365日連続稼働を実現する集大成装置です。

用途あらゆるCVD工程やイオン注入、エピタキシャル工程から排出されるガスの処理

• レオ
• タウルス
• エクレウス
• ノルマ

高い除害性能と安全性を満たしながら、世界一の低価格を目指しました。

用途処理対象ガスに応じた薬剤を除害筒に充填することにより下記の用途に対応します。

• ドライエッチング工程で使用されるフッ素・塩素・臭素系ガスの処理
• タングステンCVD工程で使用されるWF6ガス等の処理
• MO-CVD工程で使用されるAsH3ガス等の処理

• テクノクリーン
• ジョイント