【用途】

ドライエッチ工程やCVD工程等で使用される水溶性ガスやアンモニアガス等の処理用

【特徴】

• 『アクアⅡ』は、従来では処理が困難であったガスを処理可能にするため、ポンプを使った『ジェットノズル』と『ミキシングエリア』の二段階処理に加え、再気化を防ぐ特殊充填物で三段階処理をしております。また、この心臓部である洗浄塔にキャスター付きという全く新しい発想を取り入れ、容易な交換を可能にしており、乾式除害装置と同等の高いメンテナンス性を実現しました。
• 乾式除害筒との組み合わせや直列・並列に接続する豊富なバリエーションがあります。

【処理対象ガス】

アクアⅡ（MAX100L/min）  ：Cl2・F2・WF6・BCl3等