プラズマ式　デュアルサンダー

世界最小サイズのデュアルタイプ プラズマ式除害装置。

【用途】

エッチング装置から排出されるプロセスガスとPFCガスの処理用

【特徴】

  • サンダーと同じく、超高温プラズマによる高効率除害です。
  • 1台の装置で2台の機能、相互バックアップ機能もあります。
  • 自社比約2台の装置を1つのサイズにした究極の省スペース（約87％サイズダウン）。
  • 電装部を除くプラズマリアクタや洗浄塔、貯水タンクなどのユニットは完全に独立したデュアル式です。
サンダーの特長 優位点
メンテナンス性能 プラズマリアクタは小型除害筒のようなクランプ接続による容易なメンテナンス ユニットは独立で脱着可能
プラズマユニット 独自技術のロングアークプラズマにより、最小のエネルギーで高い除害効率を達成（リアクタ内雰囲気平均6,000℃） 除害効率の向上
最大2リアクタを同一寸法で内蔵可能 バックアップラインの設置が可能
タイムラグ無しで着火処理可能
処理対象ガス流入時のみプラズマON可能 部品消耗度、エネルギーの低減
シャワー部の特長 水使用量の最適化を計り、大きな洗浄塔が不要に ランニングコストの低減
SEMI規格対応 認証済み 安全性の向上

 

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